二手 KLA / TENCOR P11 #293760564 待售
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KLA/TENCOR P 11晶片测试和计量设备是晶片制造过程中监测和检查半导体晶片纳米特性的高精度和高度先进的工具。KLA P-11是一种功能强大的工厂内自动化过程控制工具,提供了诸如总缺陷计数、缺陷分类和自动审核功能等功能。TENCOR P 11非常适合于大多数制造技术所需的部分或整个晶片内检测步骤的自动化。该系统提供全自动性能,用于测量、测试和监测晶圆的各种纳米级特征和组件。该单元利用高速成像传感器和先进算法来分析晶圆表面的每个像素。该机器还提供构件管理和控制,从而能够检测晶圆表面的污染。该工具是集成的高分辨率扫描仪,能够提供高达30 nm的分辨率,提供卓越的精度和精确度。KLA/TENCOR P-11提供全面的分析和过程控制功能,包括对各种纳米级功能的详细测量、评估和监控。它使用高分辨率高压电子显微镜进行精确的粒径测定和光谱成像技术进行精确的材料特异性识别。此外,TENCOR P-11还提供了在受控区域内对颗粒进行自动分类的功能,提供了有关生产过程特性的宝贵实时反馈。P-11与现有和下一代设计、系统和工具无缝集成,为用户提供了将资产顺利集成到现有流程和工具中所需的灵活性。随着新流程的添加和/或修改,该模型易于升级和维护。它具有全面的可移植性和可扩展性,便于在不同的过程控制站点之间移动设备。此外,KLA P 11提供了0.1微米的精度,有助于确保复杂测量和分析中的可重复精度。最后,TENCOR P 11有一个全面的专家支持团队作为后盾。这样可以确保用户在需要时获得帮助和帮助,以及工程师和技术人员的主动反馈,从而确保最大性能和可靠性。该系统为半导体晶圆制造提供了无与伦比的精度和精确度,非常适合任何晶片内工艺控制和检验应用。
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