二手 KLA / TENCOR P11 #293809525 待售
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KLA/TENCOR P 11是一种晶圆测试和计量设备,将测试和计量能力结合到一个单一的、集成的平台中。该系统设计用于晶圆级筛选和逆向工程应用。KLA P-11单元使用图像识别和模式识别技术来检测晶圆或基板上的故障特征。它还可以测量晶圆器件的电气和物理特性,并提供有关模具位置、缺陷和其他参数阵列的信息。TENCOR P 11使用多种测量技术,包括成像、2D测量、临界尺寸(CD)测量、电气测试(电学测试和重测)、临界区域分析和高级缺陷分析。它还提供了高级3D映射和分析功能,以及高级缺陷检测技术。KLA/TENCOR P 11光谱成像技术可用于检测和区分不同类型的缺陷和拓扑特征。它还支持多种无损电测试技术,如CVU、IVu和OD测量。TENCOR P-11机配备了先进的模具自动定位基准对准工具,简化了资产运行,最大限度地提高了对准精度。KLA/TENCOR P-11还能够使用4个盖侧晶片载波每小时处理多达500个晶片。P11上的高级图像分析允许快速识别缺陷,包括微观缺陷、大开口部位、划痕和其他地形缺陷。此外,该模型还包括全面的模式识别算法,将被检查的结构与存储在其库中的已知模式进行比较。P-11还提供一系列统计数据分析工具,如平均值和标准差、最大值、最小值和直方图分析。利用其实时报告和用户定义的报告模块,它提供了关于趋势和统计的深入分析。最后,TENCOR P 11设备设计用于精确缺陷定位,可以在100 um x 100 um的区域内精确定位1 um的缺陷。它还提供各种自动化选项,包括机器人处理系统、多模具拾取系统、自动化测试解决方桉和自动化计量解决方桉。
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