二手 KLA / TENCOR P11 #9250103 待售

KLA / TENCOR P11
ID: 9250103
晶圆大小: 6"-8"
Profilers, 6"-8".
KLA/TENCOR P 11晶片测试和计量设备是一种先进的自动化光学检验和计量系统,能够对晶片和产品进行实时性能监测和过程控制。利用高分辨率光学显微镜,KLA P-11能够准确分析晶片特性、模具均匀性,相对测量精确的产品厚度和迭加偏移。TENCOR P 11利用8"或12"英寸的视场,数值孔径(NA)低至0.18,提供1微米的精度分辨率,以及高达每秒8帧的快速图像采集速率。广泛的光学元件为生产线的应用支持提供了全面的参数和测量类型,包括几何和蚀刻分析、文档审阅和网络验证。KLA/TENCOR P 11还提供了快速可靠的缺陷分类功能,允许用户快速分析大量数据,只需单击一次即可立即获得结果。特殊算法自动检测和分类缺陷,为半导体晶片和材料的表征、分类和验证提供了可靠且可重复的过程。P11的主要模块包括计量、审阅和模式搜索以及缺陷审阅平台。直观的用户界面使操作变得简单,并消除了冗长的设置时间。数据输出存储在一个集中的存储库中,从而可以查看和访问实时性能指标,同时促进与全局缺陷库共享缺陷知识。TENCOR P-11单元还提供了可追踪性和分析以及净/收益管理功能。这台机器使用精密的电容式传感器,能够以三维图像可视化检查结果,非常适合工业级晶圆工艺监测和缺陷分析。最后,工具管理器工具使用户能够监控资产性能并运行各种质量保证测试。KLA P 11是一种极为通用的工具,用于检查、监测和分析当今生产线中的晶圆和产品。该工具有助于确保过程的可靠性和准确性,以确保高性能结果和产量。
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