二手 KLA / TENCOR P11 #9269308 待售

KLA/TENCOR P11是一种领先的晶圆测试和计量设备，正在革新半导体测试和计量行业。KLA P-11利用高功率3D激光扫描技术获得单个晶片的精确、高分辨率图像。这张详细的图像与自动光学检查系统相结合,使TENCOR P 11能够快速准确地测量晶片上的各种特征,包括特征尺寸、迭加尺寸、临界尺寸和屈服分析。KLA P 11由一个基本平台和多个模块组成,用于添加功能。基础平台包括一个垂直多轴级、一个快速扫描头、一个高分辨率的共焦成像模块，以及其他几个用于精确成像和计量的组件。多轴级允许晶片的精确定位，共焦成像模块允许对任何晶片进行详细的3D成像。KLA/TENCOR P-11使用四个附加模块来提供额外的测量功能。其中包括迭加测量模块、模具临界尺寸（CD）模块、工艺签名和轮廓测量模块以及晶圆级屈服测量模块。叠加模组允许一个晶片与另一个晶片进行比较，而模模CD模组则可以测量一个晶片上两个不同特徵之间的距离。工艺签名模块测量晶片的电气轮廓，晶片级屈服模块测试晶片的屈服速率。P11还可用于自动化测试程序优化，并提供用于管理测试、计量和数据分析的单点数据。此软件功能使用户能够跟踪其测试操作的性能,分析和比较结果,并优化过程以获得最佳结果。总体而言，KLA P 11是一个高级测试和计量单元，它提供了晶圆的增强的详细视图。其3D激光扫描技术可以快速准确地测量晶片上的各种特征，其自动光学检测机为优化测试程序提供数据。所有这些功能使P-11成为半导体制造商必不可少的工具。