二手 KLA / TENCOR P11 #9281222 待售
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KLA/TENCOR P 11晶片测试和计量设备是一种自动检测和分析系统,旨在为纳米级晶片的检测和表征提供快速、可靠和一致的结果。该单元利用最新的自动光学检查和图像分析技术,以最少的操作员干预提供最高质量的扫描和特征分析数据。KLA P-11利用了一套强大的硬件和软件技术,包括高分辨率CCD摄像头和最先进的非接触电图学工具集。这台机器能够扫描和分析尺寸范围在200mm到600mm之间的晶片。TENCOR P 11还配备了一系列的图样检测能力,如线路、空间和阵列特征的成像、精细间距特征的成像以及基本的硅缺陷导航。此外,它还能够以空间和光谱精度精确定位晶圆表面的明确区域。TENCOR P 11除了具有扫描和分析能力外,还包括先进的计量工具集,包括光谱分析、表面和厚度测量、边缘检测和S/TIL映射以及缺陷表征。它还具有多通道功能,可同时进行扫描和分析,从而可以快速测量大面积区域。P-11还实施过程控制措施,允许检查和核实制造过程结果。此工具配备了集成的自动化库,它简化了自动化流程的创建和执行,从而可以创建自动化检查,以降低错误率并维护多条生产线的质量标准。总体而言,KLA P 11是一种坚固、用途广泛、高性能的晶片测试和计量资产,旨在为纳米级晶片的检测和表征提供快速、可靠和一致的结果。除了其强大的硬件和软件技术套件外,该模型还利用允许确定制造过程结果的过程控制措施。这种特性的结合使得它成为半导体工业中晶圆检验和分析的理想选择。
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