二手 KLA / TENCOR P11 #9293256 待售

KLA/TENCOR P 11晶片测试和计量设备是一种自动化系统，设计用于在大型（最多300毫米）硅晶片上对微电子器件、MEMS和光子元件进行晶片上的测量。KLA P-11利用先进的模式识别算法来识别大型晶片上的单个模式和设备结构，然后利用其高分辨率成像能力对其进行测量。TENCOR P 11通过主动隔振、自动对焦和电位计控制的自动级实现了精度和可重复性，为晶圆级测试提供了高精度的测量。KLA P 11单元由多个子系统组成，如运动控制器、数据采集机和成像工具。运动控制器提供x-y-z平移和旋转级，以精确的精确定位晶片上的器件。数据采集资产通过数字/模拟和数字/数字（D/A和D/D）输入/输出单元提供高速数据采集能力。KLA/TENCOR P-11成像模型是一种专有的显微镜设计,具有板载LED照明和高达20倍的光学变焦放大倍率,具有0.5 𝛍m的光斑分辨率设置。水浸物镜和样品持有者使设备能够精确测量样品高度和特性不同的样品，而专用软件则能对复杂的装置结构进行表征。P-11还具有用于模具识别、对齐/配准、矢量绘图和设备分类的自动模式识别算法。用户友好的图形用户界面使系统易于编程和控制。KLA/TENCOR P 11单元提高了晶圆级测试测量的准确性、分辨率和重复性。它提供了一个用于晶圆测试和计量的多合一软件包，具有样品持有者、照明和物镜、隔振和自动对焦功能，允许用户快速产生准确和可重复的结果。借助先进的模式识别算法,KLA P 11为测试、分析和表征复杂的模具结构提供了经济高效、质量可控的解决方桉。