二手 KLA / TENCOR P11 #9314006 待售

KLA/TENCOR P 11是一种晶圆测试和计量设备，为过程控制、研发提供快速准确的晶圆几何测量。该系统实现了自动模具排序能力和广泛的晶圆几何测量,包括临界尺寸（CD）测量（如线宽和线缘粗糙度）,区域测量（如图样平面度和扫描干涉法）。它具有创新的高速光学模块、独特的镜头设计以及先进的照明装置，使其能够对最复杂的几何特征进行精确测量。KLA P-11机高度灵活，支持多种应用。它设计为模块化且可升级,使客户无需与制造商联系即可添加新功能。它旨在最大限度地测量每个晶圆,为研究和生产环境提供高吞吐量和经济高效的解决方桉。TENCOR P 11可配置为同时容纳平板显示器和直径不超过300毫米的样品晶片。该工具还配备了高度复杂的双光束光学显微镜资产，可以收集高度、面积、线宽和临界尺寸测量等数据。P11还提供高精度的机动高度轴和机动检查阶段，允许精确控制测量位置和可重复的结果。此外，KLA P 11采用自动零校准模型，以确保精确和可重复的测量。此外，该设备还有一个特定直径配方的板载库，可用于快速建立晶圆计量系统和进行测量，而无需手动校准。总体而言，TENCOR P-11是一种精确和灵活的晶圆测试和计量解决方桉，能够精确测量和经济高效的操作，用于研究和生产应用。其精密的双光束光学显微镜单元和自动校准确保了精确的测量，而其板载库和可升级的能力使其有可能长期保持尖端。