二手 KLA / TENCOR P11 #9355497 待售

ID: 9355497
Wafer surface profiler, parts system.
KLA/TENCOR P 11是KLA开发的晶圆测试和计量设备。它使用领先技术对各种半导体材料进行精确的测量和数据解释。该系统采用线性扫描级设计,用于渲染大形状、长运动范围,并具有高可重复性,以确保精度、重复性和准确性。KLA P-11能够测量晶片的物理特性,如厚度、平坦度、曲率半径、斜角和半径,以及电容、电阻和介电特性等电气特性。它使用基于闪电快速CMOS的成像单元来检测晶圆表面的缺陷,并使用自动计算机辅助计量功能来量化此类缺陷。机器的高分辨率成像能力使得能够检测晶片上的微小缺陷,TENCOR P 11的4轴测量头能够在短时间内精确扫描各种材料。它还能够用高度精确的步进控制扫描粗糙和光滑的表面。该工具还具有用于识别公差和量化组件之间差异的高级分析算法。它可以以不同的速度和精度水平测量多个方向上的各种特征,从而实现精确和快速的结果。TENCOR P-11提供直观的用户界面和灵活的联网功能;允许从各种平台进行远程访问和控制。它还涵盖了从8"到12"的各种晶圆大小,旨在促进高吞吐量并保持较低的总拥有成本。P-11是半导体制造质量控制的通用工具,提供可靠、精确和准确的结果。它具有丰富的特点和灵活的设计,是任何半导体制造工厂的完美工具。
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