二手 KLA / TENCOR P11 #9397724 待售

KLA/TENCOR P 11晶片测试和计量设备旨在实现晶片特性的高精度测量,如表面地形、特征大小和缺陷特性。KLA P-11配备了几种光学和电气探针以及亚微米分辨率的电动扫描技术，以精确分析广泛的晶圆基板。这些测量使工程师和科学家能够表征大批量生产环境中的单个结构,同时仍能准确测量诸如表面终点、线宽、临界尺寸均匀性和缺陷分布等参数。该系统采用全光学设计，能够提供广域成像和纳米级精度测量。可移动激光源照射晶片样品，然后从表面反射出来并由光学接收器收集。然后使用成像模块捕获收集的数据并将其存储起来以供以后分析。为了分析收集到的数据,TENCOR P 11采用了几种物理和数学算法.这些算法用于计算曲面轮廓并显示样本的轮廓。它们还用于查看表面缺陷特征和测量特征的大小。该单元还包含一系列模式识别工具,这些工具能够从样本中识别和提取特征,如线宽、临界尺寸均匀性和缺陷。除了这些功能外，KLA/TENCOR P 11还具有精密的用户界面，具有直观的图形用户界面和几个触摸屏菜单。支持手动和自动输入,并且该机器能够存储和编目数据,以实现数据跟踪和工作流管理。该工具还配备了若干安全预防措施，以确保数据完整性和防止数据丢失。P11晶片测试和计量资产是为晶片基板提供准确可靠测量的强大工具，使其成为在半导体生产环境中工作的工艺工程师和科学家的重要工具。