二手 KLA / TENCOR P12 #293589209 待售

KLA/TENCOR P12是一种晶圆测试和计量设备，设计用于以高精度和精确度检测晶圆。为了完成这项任务，它支持光学显微镜、扫描声学显微镜（SAM）、光学迭加测量和线形测量等各种技术。该系统由Optifab、Metrology和YieldStar过程三个子系统组成。Optifab工艺有助于自动检查晶圆的表面地形、粗糙度测量、特征分析和缺陷光刻分析，使用户能够识别目标缺陷和潜在缺陷来源。它利用定制的舞台进行运动精度和稳定性，利用光学扩散器进行图像分析，并利用成像传感器进行高分辨率拓扑测量。该单元精确且灵敏,即使是晶圆表面上最小的缺陷阵列也能检测到。Metrology过程负责提供高分辨率的计量服务，如线形测量、侧向鲁棒性测量和接触孔成像。它具有非接触式传感器、高精度扫描台和光学设备，能够高精度地测量线宽和线形。该工具还配备用于检查波形、角度和接触孔的大小和对称性，使其用途广泛且高度精确。YieldStar过程有助于进一步处理前两个过程中捕获的数据。它从晶片收集数据进行产量评估，并使用断层扫描样式算法进行模式识别。用户界面允许对来自先前进程的数据输入进行可定制的统计分析。KLA P 12的设计旨在满足半导体制造商对其晶片进行高效和精确测试的日益增长的需求。其全面的功能集使得它适合研究和生产环境，允许用户对他们的晶圆制造过程做出更快、更精确的决策。TENCOR P-12以其三个集成的子系统和微调的精度，是任何晶圆测试和计量任务的必备工具。