二手 KLA / TENCOR P12 #293595755 待售

KLA/TENCOR P12是一种晶圆测试和计量设备，设计用于精确测量晶圆表面地形和化学成分。该系统功能广泛，适合各种半导体和光电应用。KLA P 12具有扫描电子显微镜（SEM）柱、通用级和垂直级。SEM柱提供高分辨率成像以显示晶圆表面的精细细节。通用级能够处理直径达200毫米的晶片，有两个级，使其可以定位成不同角度成像。垂直级进一步允许晶圆在电子束下的精细定位。TENCOR P-12包括高速自动对焦相机，可快速准确定位所需的表面特征。该相机连接到一个基于PC的成像平台,用于2D和3D分析及成像。此外，该单元还配备了多种可选配件，如离子源、低真空室和EDX（能量色散X射线）探测器，提供化学分析能力。KLA/TENCOR P-12拥有全面的计量套件。它的菜单驱动软件具有用户友好的设计，能够进行多参数测量，包括：斜率测量、CD（临界维度）计量、x-y级校准和对准以及缺陷分析。事实证明，CD计量对于确保晶圆图样的准确性和均匀性特别有用。机器还配置了自动对齐功能，可轻松对齐晶片级上的多个晶片。总体而言，TENCOR P 12晶片测试和计量工具是许多半导体和光电应用的理想选择，需要对晶片表面进行快速、准确和详细的测量。它具有强大的成像功能和一系列的测量功能,可提供业界领先的结果,是日常使用的可靠工具。