二手 KLA / TENCOR P12 #293800615 待售

KLA/TENCOR P12是由过程控制解决方桉的全球领先者KLA开发的晶圆测试和计量设备。该系统能够测量各种临界参数,包括临界尺寸（CD）变化、覆盖、大小平面度、缺陷检测、薄膜厚度等。该装置的设计是为了最大限度地提高晶片对晶片的吞吐量、质量和生产率。KLA P 12采用亚纳米精度X射线激光共聚焦机结合先进的模式识别软件，提供卓越的分析效果。其高级测试功能的核心是创新的照明设计,它使工具能够检测实际设备特征和薄膜层。多光谱探测器阵列能够对CD、覆盖层、沉积膜和其他特征进行高精度、快速和无损的测量。该资产配备6轴晶圆级和200毫米晶圆大容量，提供高速吞吐量和不间断运动。先进的光学和照明设计提供了低至亚微米水平特征的最佳测量。TENCOR P-12提供多种光学配置,用于检查特征大小和材料,以及检查视场（FOV）设置和缩放功能。在软件层面，P 12配备了强大的分析和可视化工具，以各种图表和图表的形式正确显示信息。该模型还提供了全局对齐功能,该功能可补偿测试模具与目标之间的错位,从而提高精度和吞吐量。P-12还支持多种测试配置，让客户优化测试的样本数量。灵活的自动化支持提供了与现有生产流程的无缝集成,并且广泛的通信接口允许多种数据传输方法。综上所述,KLA/TENCOR P 12提供了一个完整的晶圆测试和计量解决方桉,它结合了卓越的计量精度、吞吐量和灵活性,以确保制造过程中的最高质量和生产率。