二手 KLA / TENCOR P12 #9358965 待售

KLA / TENCOR P12
ID: 9358965
Profilometer.
KLA/TENCOR P12晶片测试和计量设备是一种自动化缺陷检测系统,旨在保证半导体晶片在制造过程中的质量。该单元使用各种检测和测量技术来识别晶圆材料中的任何缺陷。它能够检测和测量晶圆中的各种粒径、形状和不同类型的缺陷,如线缘/空间可变性、空隙、颗粒、划痕和污染。KLA P 12是一种先进的设备,包括装有晶圆处理和测绘机的检查模块、检查工具和成像工具。该工具具有20nm分辨率,是高端工艺控制和无缺陷晶片所必需的。该工具采用多模式晶片处理资产,可提供晶片的精确移动、精确定位和对准。该成像模型包括光场和光场照明阵列与直接光学显微镜。该设备能够实时高分辨率的晶片图像来检测和测量表面的不规则性、缺陷和粒子。TENCOR P-12配备了强大的缺陷分析软件,能够检测和分类颗粒和缺陷的大小和形状。系统还可以识别晶圆的重要特征,如器件密度、线宽和厚度变化。软件可以将设备统计信息与期望值进行比较,并在出现任何不合格情况时向操作员发出警报。该单元还包括用于详细流程报告监控和归档的关键数据存储和报告生成功能。总体而言,KLA/TENCOR P-12是一种功能强大的晶圆测试和计量机器,旨在通过检测和测量晶圆上的颗粒和缺陷,最大限度地提高半导体产量。其20nm的分辨率、强大的缺陷分析软件以及数据存储/报告生成功能使其成为任何半导体制造业务的宝贵资产。
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