二手 KLA / TENCOR P12 #9392418 待售
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ID: 9392418
Profilometer
NEWPORT VH3030-SP VIB Table
PC
Table extension panel
(2) Table bracket
Manual.
KLA/TENCOR P12晶片测试和计量设备是晶片测试和检验的通用自动化系统。该单元设计为可容纳8个"或12"晶片，总占地面积小于17平方英尺，从而最大限度地利用实验室空间。该机器多功能，提供多种晶圆检验、计量和测试应用。该工具由一个控制单元、运动和晶圆处理元件以及过程控制/检查模块组成。控制单元包括一个19英寸的机架式控制器，可以安装在任何19英寸的机柜或机架中。资产还包括电机驱动板、运动卡、多轴伺服头以及支持晶圆传输所需的晶圆处理元件。该模型具有高精度的力传感和运动控制能力，定位精度在1微米以内，支持最多3次同时操作。它还包括执行实际计量、检查和测试操作所需的过程控制/检查模块。过程控制/检查模块包括湿站成像、干站成像、化学/冶金分析以及特定缺陷测量和审查。该设备是为高吞吐量和可靠性而设计的，具有自动化操作和统计过程控制。该系统还附带了一个软件包,允许创建自定义配方,并能够捕获和报告详细的结果和数据。该单元设计为用户友好且易于使用，具有直观的图形用户界面和交互式教程。KLA P 12晶圆测试和计量机适合用于多种行业，包括半电容器和太阳能电池生产。它也是研发作业的宝贵工具。TENCOR P-12具有快速的处理速度、鲁棒性和广泛的工艺控制选项,是晶圆测试和计量的理想工具。
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