二手 KLA / TENCOR P15 #293616961 待售

KLA/TENCOR P15是一种先进的晶片测试和计量系统，能够精确测量和分析半导体器件制造中使用的晶片。它为晶圆表面测量提供了广泛的功能，包括三维（3D）反射法、衍射、散射法、立体和表面地形。KLA P-15利用大功率激光束扫描分析晶片表面。扫描完成后，分析了晶粒结构、晶体取向、纹理、厚度和嵴数等多种特征的数据。它还可以测量临界尺寸并从任何角度进行测量。此外，该系统还具有检测晶圆厚度、缺陷区域和晶圆宽图像分析变化的能力。TENCOR P 15的3D反射仪工具基于其创新的设计提供精确度，提供高速、高分辨率的测量，从而实现晶圆特性的纳米级计量。这是通过使用大功率激光束实现的，即使在激光纹理表面也能在没有阴影的情况下进行精细测量。3 D反射法还可以提供纹理和粗糙度等多个参数的同时分析。KLA P 15的衍射计量允许增强晶圆表面的光学表征。这包括确定特定晶体方向和确定晶粒尺寸的能力，这对于明确描述晶圆的微观结构是必不可少的。另一方面，散射测量工具用于测量晶圆的衍射图样。这样可以准确地确定晶圆的表面结构和层厚度。TENCOR P 15的立体工具提供了精细结构的高精度测量。它在多个上下深度使用高清成像来确定晶圆的3D地形。这可以用来测量晶圆上图样和结构的精细细节，而传统的计量技术是无法检测到的。KLA/TENCOR P-15还提供高级表面地形测量功能。这允许使用共聚焦和干涉测量技术以及成像技术对大面积的表面地形进行详细映射。该系统的分辨率甚至可以检测到最好和最小的表面特征。总体而言，KLA/TENCOR P 15是一个功能强大的工具，为广泛的半导体和其他晶圆应用提供先进、精确的测量和分析能力。其广泛的计量能力、高分辨率成像和创新设计使其成为确保晶片质量和性能得到满足的宝贵工具。