二手 KLA / TENCOR P15 #293633404 待售

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ID: 293633404
晶圆大小: 6"
Surface profiler, 6" Manual included.
KLA/TENCOR P15是一种先进的晶圆测试和计量设备,可实现高精度、自动化缺陷和产量管理。该系统采用集成平台,以确保测试各种半导体晶片的最高效率和准确性。KLA P-15单元利用了两项先进技术,即Bright Field (BF)和Dark Field (DF)成像技术。BF机提供晶片表面的整体画面,捕捉使用扫描电子显微镜等传统方法无法看到的缺陷。BF工具也用于识别小缺陷类型,如颗粒、应变、裂纹和凹坑。除了BF资产外,TENCOR P 15还采用DF模型在晶圆内部深入观察。该设备比BF系统具有更大的分辨率,使其能够以更高的精度检测晶圆上甚至更小的缺陷。通过增强分辨率,DF单元能够检测晶片内缺陷和模具间缺陷,以及可能存在的任何结构问题。此外,DF机用于测量精确的几何形状并确保晶圆的精确尺寸。KLA/TENCOR P 15工具对于晶圆测试和计量应用具有高度精确可靠的特点,为精度和速度提供了一套全面的特点。它的自动化测试算法、高分辨率成像功能、强大的晶圆处理组件、新颖的照明模式和高级数据分析功能使其成为各类半导体晶圆测试和计量应用的理想解决方桉。TENCOR P15还包括一系列自动化的测试例程,这些例程支持高通量分析,同时提供有关每项测试结果的实时反馈。这使得识别制造问题和产量并确定其优先级变得更加容易,从而允许制造商在需要时迅速采取纠正措施。此外,资产的模块化、可扩展设计允许用户随着时间的推移构建模型,从而使他们能够随着业务的增长和发展而提高其容量和性能。总体而言,KLA P15是一种先进的晶圆测试和计量解决方桉,它提供了一套全面的特性和功能,使制造商能够实现最高的质量和效率。P-15具有高精度成像功能、自动化测试例程以及模块化、可扩展的设计,非常适合任何半导体晶圆测试和计量要求。
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