二手 KLA / TENCOR P15 #293645079 待售

KLA / TENCOR P15
ID: 293645079
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15是一种最先进的晶圆测试和计量设备,旨在确保生产超大型集成(ULSI)系统时的最高产量。KLA P-15提供高性能、非接触晶片检测,快速准确地测量半导体器件的几何和电气参数。TENCOR P 15具有一个气动扫描仪,该扫描仪以极高的速度无接触移动晶片,从而可以一次测量晶片表面的大面积。TENCOR P15利用高分辨率成像系统来捕获晶圆表面的图像。然后,该单元将分析图像以测量阵列的精度、设备尺寸和位置,以及一般的表面地形。还可以测量晶体管的电阻、电容、电感等电特性。KLA已将领先技术融入到机器中,以确保尽可能的最佳产量。例如,KLA P15采用高分辨率光学剖面仪,能够测量小至0.02微米的元件。它还采用了高功率激光光斑减小工具,可以精确探测小几何特征而不会损坏它们。TENCOR P-15还具有自动晶片分析功能,能够进行详细的视觉和统计缺陷分析。它可以检测微妙的缺陷,如划痕和微坑,速度高达14,400点每秒。此外,它还可以检查性能参数,如工艺性能、焊料凸点高度和平坦度。这些功能使KLA/TENCOR P 15成为最强大可靠的系统之一。它旨在满足和超越最严格的生产环境的需求,同时使制造商确信正在高效、准确地收集重要的测试数据。
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