二手 KLA / TENCOR P15 #293735654 待售

KLA/TENCOR P15是KLA公司开发的晶圆测试和计量设备。它是一个通用、全自动的系统，旨在精确测量大容量半导体器件的关键尺寸、覆盖和均匀性。该单元能够测量各种尺寸和高精度的特征，使其适用于光学和电气晶片测试和计量应用。KLA P-15机采用大幅面舞台，可以容纳各种尺寸不超过8英寸的基板。这样可以确保晶片的精确定位和对准,以便进行测试和测量。该工具能够测量晶圆尺寸从0.2um到25um的特征。它还能够测量各种层，包括闸门、接触层和互连层。TENCOR P 15资产包括各种复杂的软件工具，使操作员能够快速测量和分析晶圆上的组件。这些工具包括高分辨率、快速扫描成像传感器和微观定位阶段。该成像传感器能够以高放大倍率捕获晶片的图像，而微微定位级则能够精确定位和对准晶片以进行精确测量。TENCOR P15模型还采用了先进的激光散射计，能够测量器件在晶圆上的覆盖和均匀性。激光散射仪测量设备与基板的相对覆盖层，以改进工艺控制。此外，利用这一特性，设备可以检测到晶片上层层和特征沉积的误差。除了激光散射仪外，KLA P15系统还包括多种其他传感器，包括视觉传感器和电容传感器。这些工具用于测量晶圆上的各种参数，如电气均匀性和层厚度。然后使用此信息创建综合报告以进行分析和审查。总体而言,P-15单元是一种高度复杂、易于使用的工具,用于快速准确地测试、测量和监视半导体器件。它配备了多种软件和硬件功能，使用户能够以高精度和高精度分析其晶片。KLA/TENCOR P-15机被强烈推荐用于所有大容量半导体器件的测试和测量应用。