二手 KLA / TENCOR P15 #293750855 待售
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KLA/TENCOR P15是半导体工业中着名的晶圆测试和计量系统。它提供高分辨率和快速晶片缺陷覆盖,在低成本和易于使用的平台。KLA P-15结合了硬件和软件的独特融合,在不到0.2微米的范围内提供晶圆缺陷覆盖。通过将先进的硬件与自动化和计量软件相结合,TENCOR P 15无缝对准和拦截缺陷,以提高产量和减少废料。TENCOR P-15具有一个位于公共平台内的扫描声学显微镜(SAM)模块,它为缺陷检测和分析提供了高分辨率。该车辆能够快速、准确地扫描、对准和获取缺陷数据,并具有简单、快速的数据注册、分析和显示功能。该系统还提供了五种显微镜选项-最多1,000X个光学放大倍率,以及最多10,000X个数字中间放大倍率(DIM),用于捕获和查明最小的缺陷。此外,P15还提供了特征匹配、晶体学分析和表征技术,可实现缺陷类型和分布的自动可视化。P-15软件利用以2D和3D图像显示的晶圆图提供自动晶圆缺陷检查和分析。这些映射提供缺陷坐标、特征形状和大小,以及缺陷的3D表示。KLA P15结合了硬件和软件功能,为测试大批量高质量半导体晶片提供了有效的解决方桉。高效、经济高效的平台集成了先进的自动化和计量功能,确保了可靠的质量和详细的缺陷覆盖。
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