二手 KLA / TENCOR P15 #293798607 待售

KLA/TENCOR P15晶圆测试和计量设备是一种最先进的工具，旨在为半导体技术提供一套全面的计量。KLA P-15采用了获得专利的双检测激光技术和OptiSpec手册cup™使系统能够同时测量高分辨率物理缺陷和高级参数化测量,包括线宽、临界尺寸和迭加。高速直线生成的先进激光束结合了免费的激光光学和数字信号处理提供了单束精度。获得专利的双检测激光技术也使该单元能够以较低的运行成本以高性能运行。该机器配备了七个扫描范围选项,沿x轴可达20 mm,沿y轴可达8 mm,允许对感兴趣的样品进行多次测量。此外,TENCOR P 15还配备了具有单色偏移运动控制功能的机械扫描仪,能够精确定位和轻柔地传送样品。P15也针对快速、高效的操作进行了优化。该工具可以很容易地设置和编程，使其适合在实验室和生产环境中使用。对机载扫描引擎进行了优化，以达到最大吞吐量，包括先进的纠错算法和低噪声设计，以确保精确、可重复的结果。此外,KLA/TENCOR P 15还配备了光学可变芯片（OVC）和模具安装台（DMT）,有助于确保测量数据尽可能准确地反映样品上的测量结果。此外，TENCOR P-15视觉检查光学器件允许对小至0.1微米的特征进行高分辨率成像和计量。资产的集成处理单元由Autodrive™提供动力,有助于简化样品准备和分析过程。总体而言，KLA/TENCOR P-15晶圆测试和计量模型是为半导体技术而设计的先进计量工具，提供卓越的精度、速度和准确性。该设备允许在一次扫描中进行多次测量，并配有高分辨率成像和计量光学、先进激光技术和数字信号处理。此外，系统配置了光学可变芯片和模具安装台，以确保最高精度和可重复性。