二手 KLA / TENCOR P15 #293809526 待售

KLA/TENCOR P15是为半导体工业设计的先进晶圆测试和计量设备。该系统配备了高分辨率摄像机和图像处理软件，使其能够高精度地准确检测和测量晶片上的缺陷。该单元还配备了多传感器和多测量技术，使其能够进行多种测量类型，包括厚度、平坦度、裂纹检测和三维成像。这台机器是围绕一个内联检测体系结构构建的，该体系结构具有集成的进纸器、接线器、映射级和晶圆级涂层。此体系结构消除了任何传输步骤,允许进行高通量晶圆测试。此外,工具的高级成像算法会根据形状、对比度和大小等参数来识别和分类缺陷。这一体系结构还简化了双工具操作，使KLA P-15能够在没有复杂资产重新配置的情况下对单个晶圆进行检查和测量。该型号还配备了KLA C系列检验计量软件，具有先进的计量能力和周期时间优化软件。此软件使用户能够执行广泛的检查,包括边缘排除、线宽确定、CD平面度、CD轮廓、蚀刻深度、薄膜厚度和CD倾斜。此外，该软件还提供了用于工具到工具和模式到模式相关的鲁棒算法，以及统计过程控制和产量分析。TENCOR P 15能够测量所有半导体材料上的体积结构和器件结构，包括硅、氙和砷化的。此外,它的自动校准和产品级别工作流大大缩短了设置时间,使用户能够快速启动和运行设备。该系统还配备了高性能的空气轴承级，提供光滑的晶圆运动和精确的晶圆定位。总体而言，P15是设计用于半导体工业的先进晶圆测试和计量装置。机器的高分辨率相机和图像处理软件能够准确检测和测量各种不同晶片上的缺陷。此外，它内置的多传感器和多测量技术使它能够在单个晶片上执行各种不同的测量。此外,该工具的TENCOR C系列检验和计量软件提供了强大的计量功能和周期时间优化软件,使用户能够快速、轻松地进行基本和复杂的检验。