二手 KLA / TENCOR P15 #293827959 待售

KLA / TENCOR P15
ID: 293827959
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15晶片测试和计量设备是一个先进的半导体测试平台,用于识别和测量用于制造模具的薄硅晶片的缺陷、污染和均匀性。该系统具有卓越的工作效率和功耗,可提供快速准确的计量方法,快速检测任何类型晶圆的模式缺陷和变化。KLA P-15包括一个表面分析单元(SAS),提供高分辨率的表面质量映射和检查能力。该机器还具有集成的测量软件套件,允许用户设置和控制测试配置、评估结果以及获取各种格式的数据。再者,TENCOR P 15拥有包含1mm和7mm OAV(Optical Automation Vision)测量的整合软体包。OAV测量允许工具在考虑晶圆地形效应的同时精确测量线性宽度、线距和螺距。此外,KLA/TENCOR P-15的设计还能承受恶劣的环境,包括辐射暴露和振动。它配备了一个获得专利的Beam-Well专利工具,可以提高检测精度,假人,并提供稳定的结果。资产还与自动缺陷和粒子分析软件完全集成,确保快速、精确和无需人工干预地进行所有测量。P 15晶圆测试和计量模型还具有一系列对操作员友好的功能,例如使用用户友好的图形用户界面进行快速训练,无损测试(NDT)和易于数据生产。为了增加便利,它配备了基于Cloud的客户端服务器体系结构,允许操作员访问实时流程结果,并同时跟踪晶圆进度。KLA/TENCOR P 15的设计完全符合当前批量可追踪性要求,并具有完全符合FDA G-10的要求以及完整的审核跟踪功能。设备速度快、可靠,产生准确的实时数据,为客户提供即时可操作的智能。
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