二手 KLA / TENCOR P15 #9128280 待售

KLA/TENCOR P15是一种晶圆测试和计量设备，设计用于支持半导体制造过程。它具有测量集成电路的电性能以及晶圆表面地形的能力。该系统包括高分辨率显微镜，用于识别裂纹、颗粒污染、空隙等多种缺陷。KLA P-15的专用照明单元使操作员能够以极高的放大倍率创建样品的详细图像。TENCOR P 15设有六轴运动级，使其可以在晶圆表面的精确点进行多次测量。机器使用先进的光学剖面仪，以高分辨率测量晶片上各个图样的地形深度、宽度和坡度。这些测量提供了电路电气参数的详细信息，包括电阻、电容和其他电气特性。另外，P 15具有内置扫描电子显微镜（SEM）功能，可以检测出极特异的缺陷，如污染和不完全痕迹。SEM能够探索纳米级的互连，提供有关晶圆特性的详细信息，而不是传统光学测量所能提供的。KLA P 15的软件包括一套高级图像处理算法，允许对图像进行自动分类和排序。这样可以大大减少体力劳动，比人工检查给出更准确的结果。该软件可以检测到难以在视觉上识别的细微缺陷。KLA/TENCOR P 15是半导体制造中测试和计量的通用且功能强大的工具。它可以非常精确地测量各种电气和地形参数，并以高分辨率检测微妙的缺陷。此外,它的自动图像处理算法可以使繁琐的手动任务更加高效,并有助于确保准确的结果。这使得TENCOR P15半导体生产质量控制的理想工具。