二手 KLA / TENCOR P15 #9159741 待售

KLA/TENCOR P15是一种用于分析半导体晶片的晶片测试和计量设备。该系统使用先进的自动化计量技术来检测晶圆上可能在制造过程中造成的缺陷。KLA P-15设计用于扫描整个晶片，甚至检测晶片表面最小的缺陷。该单元还可以检测和分类晶圆表面的任何像差，如厚度变化和表面结转。该机采用内置色差校正的高分辨率光学显微镜，以最高精度对晶片进行多点扫描。该工具还可以配备高级算法，旨在自动识别任何异常模式并与预定的标准模式进行比较。该资产还集成了偏光显微镜，以提供更高的吞吐量和检测精度。该模型提供了一个直观的用户界面，以便于操作。它包括对任何缺陷进行人工审查的集成视频检查。实时晶圆映射和自动聚焦控制等功能可实现快速、轻松的扫描。设备的深度学习能力为晶圆图提供了直观的三维概述，可以用来识别晶圆中的任何一种缺陷。除缺陷检测外，该系统还可用于其他类型的临界测量。它为薄膜厚度、线宽和颗粒密度等测量提供了准确的结果。也可用于分析通气、沟槽、接触孔、柱子等结构。它还提供了薄膜平整度和倾斜测量等计量能力。TENCOR P 15的集成SPC工具允许统计过程控制和早期发现可能导致产品质量问题的潜在问题。这些信息可用于深入分析和持续改进过程。该单元还提供了许多其他功能,例如远程支持、数据归档和自动报告。总体而言，KLA P 15是一种综合性晶圆测试和计量机器，旨在提高工艺效率和产量，同时提供准确的缺陷检测。该工具直观的用户界面和强大的计量功能使其成为半导体行业的理想工具。