二手 KLA / TENCOR P15 #9261862 待售

KLA/TENCOR P15是一个自动化晶圆测试和计量系统。它是一个多工具平台，用于高级晶圆检测、缺陷分类、光学采集和非接触地形。KLA P-15设计用于进行晶圆测试和计量,具有高精度和高通量。它提供高级光学和非接触模式。在光学模式下，TENCOR P 15可以测量反射率、光学对比度和材料对比度。此外,它还可以生成纳米级轮廓数据,以测量临界尺寸和特征高度。在非接触模式下，它可以利用激光扫描技术检测小缺陷。P 15具有高级分析功能。利用AI驱动算法，TENCOR P-15能够自动检测、识别和分类各种缺陷。它还具有先进的模式匹配算法，能够更快、更准确地查看晶圆图和数据。在精度方面，KLA P15的最大分辨率为0.4 µm，精度为0.1 µm。其动态范围可高达1000万：1。此外,KLA/TENCOR P 15的设计非常灵活,允许用户根据不同的计量要求轻松重新配置系统。此外,P-15设计符合人体工程学,易于访问样品加载、样品转换和晶圆图审阅。总体而言，KLA P 15为用户提供了先进的晶圆测试和计量系统。由于其精确度、灵活性和人体工程学，它非常适合半导体制造中的一系列应用。