二手 KLA / TENCOR P15 #9265341 待售

KLA/TENCOR P15是一种晶圆测试和计量设备，用于半导体制造设施中的过程控制和缺陷检查。它使用自动光学检查半导体晶圆并测量元素变化、地形和金刚石分布。KLA P-15利用各种传感器，如捕获晶圆图像的CCD（带电耦合器件）和用于扫描表面的激光。它执行多个测量,包括表面粗糙度和地形以及缺陷检查。TENCOR P 15设计用于高速、高精度的检测，采样率为400 WPH（晶圆每小时），分辨率为1.5 um。它具有5nm的测量精度，具有检测亚微米缺陷位点和整个晶圆过程变化的能力。系统还具有多种通信协议，如网络、串行和SCSI接口，允许集成到现有的生产环境中。TENCOR P-15单元旨在提高半导体制造商的成本，因为它旨在减少生产所需的时间和材料。机器配备了"智能评级"功能，允许基于用户定义的统计评级做出最佳通过/失败决策，最终导致拒绝次数减少，成本降低。P 15还有一个自动校准程序，通过在短短几分钟内获得测量设置、校准和配方来简化晶圆检查。总体而言，KLA P 15是半导体生产的强大工具，可以节省时间、金钱和提高产量。其高精度、高速的检测能力提供准确一致的测量，并产生更可靠的结果。自动校准、集成功能和智能评级功能可提供经济高效的缺陷检查和过程控制,从而提高生产效率。