二手 KLA / TENCOR P15 #9293535 待售

KLA/TENCOR P15是一种用途广泛、成本效益高的晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体工艺的需要。它为多达8个″、12个″甚至更大的晶片提供了广泛的晶片表征和测量功能。该系统利用先进的激光、光学和机械元件来测量关键晶片属性,包括表面粗糙度、临界尺寸、轮廓、线缘粗糙度和其他临界特性。KLA P-15是围绕一个大型舞台和成像光学器件设计的，允许用户精确扫描和捕获晶圆表面。光学元件经过优化配置,以最大限度地提高成像性能,而激光器则用于提供精确的测量数据。该单元具有多个传感器头,每个传感器头都有一个独特的视场,使其能够测量所有空间方向上的特征。两个独立的XY级提供变速扫描、提高吞吐量和更精确的计量数据。该机提供多种测量模式，包括低kV、超低kV、明场和暗场，使其能够测量各种各样的晶圆属性。此外,TENCOR P 15还提供自动对准和缺陷检测功能。与手动采样相比,此功能加快并简化了测试任务。TENCOR P15专为易于使用和数据收集而设计。开放式体系结构允许与其他系统轻松集成,并允许从多个来源收集数据。它易于针对不同的晶圆尺寸和材料进行配置，可用于工艺故障分析、监控和开发。此外,它还为便于校准、维护和维修而设计,可添加一系列可选组件以自定义工具。总体而言,P 15是一种用途广泛、经济实惠的资产,提供一系列的测量、测试和计量功能。它提供了多种特性和功能,使其成为半导体制造过程工程、质量控制和故障排除的理想解决方桉。