二手 KLA / TENCOR P15 #9302999 待售

ID: 9302999
Surface profiler Manual.
KLA/TENCOR P15是一种晶圆级测试和计量设备。它能够检查和分析半导体器件的电气和物理特性。用于集成电路、平板等电子元件的生产。KLA P-15具有独特的集成系统设计,能够处理直径不超过8英寸的各种晶片。该单元配备了高速光源、光路、监控机,以及坚固的软件包。它的可重复性和准确性确保了可靠的性能和准确的结果。TENCOR P 15工具支持晶圆测试的一系列应用,如临界尺寸、薄膜参数、屈服管理、高频和低频电气性能表征以及静电放电(ESD)测试。P15的集成光学子系统提供了高精度的光学计量能力。此功能由先进的宽视野光机资产(由精密伺服电机和高端成像仪器驱动的机械)实现。它专为直径不超过8英寸的晶片而设计,能够测量晶片厚度和薄膜厚度。集成光学子系统还提供了获取和验证电阻率和厚度图的能力,使操作员能够识别需要进一步行动的偏差。KLA/TENCOR P 15配备了一套强大的缺陷检测工具InspectNUX和TVSight,能够检测和定位晶圆表面的隔离和埋藏缺陷。它还提供全面的测试设计(DFT)分析报告功能,并包括远程管理功能。最后,P 15具有视觉数据分析能力.这使操作员能够使用提供的程序轻松分析复杂的图像,为用户提供详细而准确的调查结果报告。综上所述,KLA P15是为生产和研究应用而设计的晶圆级测试和计量模型。它提供了准确和可重复的性能,非常适合多个晶圆测试和计量应用,包括DFT、电气性能表征和缺陷检测。利用其先进的光学子系统和集成软件包,TENCOR P-15是制造半导体元件的可靠而强大的工具。
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