二手 KLA / TENCOR P15 #9313370 待售

KLA/TENCOR P15是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在设备制造过程中提供精确的表面和电气表征数据。该系统支持包括晶圆有序考试（WOE）、有限元分析（FEA）和晶圆应力测试在内的各种行业标准测试协议。该单元以先进的4象限差分传感技术为基础，利用双通道干涉测量头获得高精度的表面和电气数据。该机器能够测量点分辨和面积测量的电气参数，包括阈值电压、平带电压和移动性。该工具的关键功能包括更高的测量精度、可重复性、鲁棒性和高吞吐量。资产还能够进行实时晶圆映射，以识别晶圆上具有非均匀表面或电气特性的特定区域。该模型建立在可扩展的开放式平台上，配备了一系列专门工具，如具有6-Axis运动控制的晶圆对准设备、用于样品对准和检查的先进光学显微镜以及用于数据分析和软件控制的强大计算机。此外,它还采用了创新的自动化校准方法,消除了手动处理步骤,从而提高了系统的正常运行时间、性能和准确性。该单元支持广泛的测试头配置和包括200 mm、300 mm和450mm晶圆在内的一系列晶圆尺寸。其设计符合与安全、性能、准确性、环境和可追踪性有关的适用行业标准。KLA P-15晶片测试和计量机是半导体器件制造的重要工具,是精密器件测试需要高精度表面和电气测量的客户的理想选择。