二手 KLA / TENCOR P15 #9315026 待售

KLA/TENCOR P15是一种高端晶圆测试和计量设备，旨在提供高吞吐量和测试精度。它基于三眼成像系统，由一个亮场和两个暗场相机组成，并结合了先进的卡塞格林光学单元。这允许以极高的精度和速度测量晶片上的亚微米特征。该机配备了高品质的照相机和照明工具，允许广泛的动态范围进行图像捕捉，以便准确地解决晶圆上的亚微米异常。KLA P-15还提供了出色的视野，这使得晶圆采样水平高于其他系统。此外，该资产能够进行非常精确的模式识别和迭加测量，并拥有各种各样的综合测量服务，为复杂的测量提供更高的准确性和灵活性。TENCOR P 15还包含用于快速图像处理和统计分析的高级计算能力，允许进行深度测量分析。这包括多维和多层图像显示,以及感兴趣的区域（AOI）分析。而且，该模型能够进行晶圆计量、缺陷分析和表面粗糙度测试，以便对晶圆性质进行完整的理解和量化。最后,P 15提供了步进关联仪、自动缺陷识别和生成器包、染色锥关联仪和设备级缺陷分析（SLDA）等硬件工具,用于快速分析缺陷。此外,该系统还提供软件功能,如用于设置、监视和控制测试的图形界面Measurement EQ,以及以图形格式提供结果详细分析的图形分析。总而言之,这些功能可以实现比以往更高的过程控制、准确性和速度。