二手 KLA / TENCOR P15 #9379431 待售

ID: 9379431
Surface profiler.
KLA/TENCOR P15是一种高性能、可定制的计量和晶圆测试设备,旨在对现代半导体工艺进行高效、统一的测量和性能优化。KLA P-15将基于先进远心光学和专有算法的最先进的传感器系统与全自动轮廓检测单元相结合,在晶圆上产生高分辨率、精确的三维表面测量。该机器能够快速、轻松地检测在各种工艺上产生的晶片的表面特征,如蚀刻、CMP、离子植入和光刻。这使TENCOR P 15能够应用智能校准和过程质量控制任务,从而最大限度地提高生产率。P 15配备了先进的内置分析能力,如基于实时统计和视觉数据的自动逐行缺陷检测,以及线终(EOL)测试覆盖范围评估和晶片对晶片的比较。这有助于确保工艺模式与所需的行业标准相匹配,并在整个晶圆中有所不同。自动晶圆映射允许本地自动校正和跟踪过程优化。此外,TENCOR P15被证明能够准确测量和控制各种计量参数,包括模式、线宽、临界尺寸、迭加对齐、场内变化和应力。这为用户提供了其流程性能的完整视图。P15易于使用,其直观的图形用户界面使用户能够快速调整以适应其特定的流程需求。其全面的自动化功能使其成为多个晶圆映射和晶圆故障分析应用的理想选择,使其成为提高产量和加快上市时间的理想选择。KLA P 15复杂的基于Web的监控工具还可以增强流程性能的可视化,并安全地将输入的数据传输到中央数据库,从而使用户能够及时识别和解决关键问题。用户还可以使用复杂的报告和分析工具访问和分析数据库中的数据。KLA P15是一项可靠可靠的资产,经证明能够在高吞吐量下提供卓越的性能,满足当今快速变化的半导体市场的挑战性需求。它一定会成为成功实施和优化现代先进工艺技术的关键工具。
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