二手 KLA / TENCOR P15 #9401373 待售

KLA/TENCOR P15是由主要制造商KLA Corporation设计的集成晶圆测试和计量设备，在制造先进半导体集成电路方面提供显着提高的性能，以及提高制造产量。该系统的设计目的是对各种集成晶片进行自动化分析，包括在内存、逻辑、光学和其他复杂结构中发现的晶片。该单元利用高精度激光干涉测量、缺陷成像和先进缺陷分析的有效应用。其市售平台包括光学显微镜、干涉显微镜、自动晶片检查和对准机，以及一系列先进的计量模块，包括那些侧重于模具级和晶片级产量分析和变化的模块。该工具旨在从芯片级的各种晶圆表面提供准确的数据捕获。KLA P-15提供了用于测试、对齐、缺陷检查和分析以及精确扫描测量的完整软件包。该资产为所有类型的集成电路和过程提供了高度的准确性和可重复性（重复性优于0.1um）。该模型用于自动光学和干涉测量，包括生成高分辨率图像和测量表面尺寸。它还具有执行模具级缺陷自动检查和屈服分析以及晶圆级性能监测的能力。此外，该设备能够对被测晶片进行自动对准，从而能够精确测量相对模具和芯片位置。这有助于确保晶片的所有部分都得到定期的测试和准确的评估。TENCOR P 15最终为数据分析和评估提供了一套独特的高级工具。这包括详细结果的输出,使用户能够执行准确的故障分析并更好地了解缺陷的根本原因。该系统在提供质量控制和提高各种集成电路工艺的制造产量方面非常成功。已被医疗、军事、通讯、汽车等行业使用。因此，TENCOR成为晶圆测试和计量的黄金标准。