二手 KLA / TENCOR P16+ #293765625 待售

KLA/TENCOR P16+是为高通量晶圆测试和计量而设计的设备。它有四个不同的组成部分，可以精确测量硅片上的不同性质。系统的第一部分由一个视觉单元组成，用于识别和测量晶圆图样或缺陷的位置。这台机器利用精确的激光进行适当的对准，并配备了一个高分辨率的数码相机，可以检测晶圆表面的图样或缺陷。该工具还包括一个光学显微镜，以优化精确聚焦和获取高质量的图像。第二部分是利用视觉资产收集的数据精确测量晶圆性质的计量站。该站与先进的光学软件工具集成在一起，用于测量线、耀斑、空隙等晶圆特性。它还具有一种称为光度立体（Photometric Stereo，PS）的非接触光学技术，用于构造表面的3维表示，以确定个别地形和表面缺陷。第三部分是高速映射模型,用于快速创建多达100个单独模式或缺陷的映射。这种设备效率极高，可以快速扫描高分辨率的大型晶片。它还配备了统计工具来分析所获得的数据并提供可靠的结果。系统的第四个也是最后一个部分是自动缺陷和划伤检查组（ADSI）。这台机器使用激光光学检查晶片是否有任何可能影响该过程的缺陷或表面划痕。该工具包括复杂的图像处理算法来检测和分类任何缺陷。总体而言，KLA P 16+是晶圆测试和计量的通用资产。其组件提供精确的晶圆特征和缺陷测量，从而实现快速准确的结果。其强大的设计和强大的软件工具使其成为任何晶圆测试过程的可靠模型。