二手 KLA / TENCOR P16+ #293816815 待售

KLA/TENCOR P16+是一种高性能晶片测试和计量设备,其设计目的是在高通量和准确度的情况下检查和表征直径达200 mm的晶片的各种晶片特性。它将无与伦比的精确度、速度和精确度结合到广泛的工艺和计量应用中,包括晶圆缺陷、迭加、阵列、污染和蚀刻。KLA P 16+具有革命性的新光学计量硬件和软件技术，使系统能够有效地检查和表征尺寸、高度、深度和角度均低于和高于纳米尺度的晶圆特征。TENCOR P-16+利用独特的多尺度计量和自动对准技术,在一系列晶圆尺寸上实现最佳的计量精度。KLA P16+包括一个先进的、用户友好的图形用户界面,使操作员能够快速准确地执行各种操作。KLA/TENCOR P 16+单元的测试能力包括低kV缺陷检测、模模迭加计量学、抗边尺寸计量学、线缘粗糙度、多重抗线图桉、临界尺寸、焦点调谐反射率。它还使用独特的专有算法来分析结果，以准确测量和表征广泛的晶圆特性。P16+还提供了许多用于工艺表征和优化的高级功能,包括线缘粗糙度（LER）计量（Line Edge Roughness, LER）和自动缺陷检测（ADD）,后者可以检测图像和设备中存在的缺陷,具有无与伦比的缺陷灵敏度。TENCOR P 16+机器包含各种选项，以适应各种应用和配置。其中包括专门的晶圆测试仪和处理程序机器人技术、定制的校准选项、聚焦校准板等附件以及运行用户定义的自定义测试序列的能力。综上所述，KLA/TENCOR P-16+是一种先进的高性能晶片测试和计量工具，能够以速度和精度检查和表征直径达200毫米的晶片。它结合了革命性的光学计量学硬件和软件技术、专有算法以及功能强大、易于使用的图形用户界面,在广泛的过程和计量学应用程序中始终如一地产生可靠的结果。TENCOR P16+提供专门的晶圆测试仪和处理程序机器人技术、自定义选项,以及运行用户定义的自定义测试序列以进一步增强其功能的能力。