二手 KLA / TENCOR P16+ #9148051 待售
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ID: 9148051
Surface profiler
Lapping
Measurement method: long-scan contact linear scans
Vertical resolution: 0.2 Å @ 327 μm
Step height repeatability: 6 Å, 100nm step
Profile data points: 4,000,000
Scan length: 80 or 200 mm
Maximum Z range: 1 mm
Stage translation: 240 mm x 240 mm
Sample positioning: motorized <1 μm
Sample stage diameter: 200 mm
Stylus force: 0.05 mg- 50mg
Field of view: 1.0mm - 4.0mm
Scan speed: 2 μm/sec to 25 mm/sec
Relative humidity: 30~40% (non-condensing) recommended
Temperature: 16℃~25℃, rate of change ≤2° C/h
Vacuum: 500 mm Hg @ 27 liters/min
Electrical: 220V, 60Hz, 430VA.
KLA/TENCOR P16+是一种晶圆测试和计量设备,设计用于在半导体行业内提供高性能的在线计量和缺陷检测。该系统提供高级工具功能和直观的用户界面,以实现快速、一致和可靠的测试结果。KLA P 16+是提供模级多通道半导体晶圆检测的下一代单元,无论是在检测灵敏度还是快速数据吞吐量方面。TENCOR P-16+机器提供业界领先的晶圆缺陷检测精度和性能。该工具配备了先进的四通道检测器技术,使其能够准确检测各种掩模层的缺陷和缺陷大小。该算法具有纳米横向分辨率,提供了高精度缺陷检测和分类的优越模式识别算法。该资产提供了对空间阵列类型的快速自动识别,例如DPT、拐角、范围和表面安装组件。除了缺陷检测,TENCOR P16+型号还提供了内联计量功能。它提供了多种复杂的计量技术,如CD-SEM、散射法和椭圆偏振法,以测量晶圆表面上的垂直和横向尺寸和变形。它还提供透硅通过(TSV) CD-SEM测量、缺陷跟踪以及在晶片上放置测试模式。该设备配备了先进的光学剖面仪模块,提供先进的光散射和图像处理技术,用于快速和准确的计量测量。KLA P-16+系统操作方便,可靠,兼容各种自动化方桉。它对操作员友好的界面允许轻松操作,能够为特定应用程序定制测试计划和设置。该部门还提供先进的数据管理功能,并具有实时数据分析和报告功能。其方便用户的功能有助于简化操作和检查过程,从而提高生产率和质量保证。最后,TENCOR P 16+是为可靠性、耐用性和成本效益而构建的。它提供符合最高国际标准的可靠设计,使其适合所有生产环境。该机器旨在减少停机时间、昂贵的维修和维护成本,从而实现最高的生产效率和盈利能力。总之,P16+是一种功能强大的晶圆测试和计量工具,可提供高级工具功能和可靠的性能。它提供了高精度缺陷检测和在线计量能力,使其适合半导体行业内的各种应用。该资产的设计易于使用、可靠性和成本效益,从而提高了质量和生产率。
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