二手 KLA / TENCOR P16+ #9268287 待售

KLA/TENCOR P16+是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于半导体器件制造。它旨在通过顶层干涉测量、光学3D测量系统和计量过程控制的组合，提供高吞吐量和屈服优化。KLA P 16+使用先进的集成干涉测量技术来测量多种临界晶片属性，如经度、平行度、弓形尺寸、平坦度和厚度。它还能够确定晶圆正面和背面的微观特征的位置、轮廓和深度。此外,TENCOR P-16+通过其4D计量功能为用户提供了测量堆迭和步进高度的能力。KLA P16+利用包含激光源、透镜和探测器的高性能光学模块。该系统还包含精密的电子设备，可以处理从探测器接收到的信号，以获得准确和可重复的测量。光学器件由设备校准,以确保精确操作。机器的集成过程控制功能使用户能够实时监视和优化过程参数。这样可以提高从晶圆到晶圆和运行到运行的过程的可重复性,从而最大限度地减少产品变化和过程非均匀性。它还能够提供实时反馈和检测参数的潜在异常。P 16+还附带提供远程操作和数据收集的用户友好软件。该软件允许高效的数据分析和流程性能报告。此外，该工具可以与其他标准工厂自动化系统如SPC和SECS兼容系统集成。P-16+为用户提供了可靠、高性能的晶圆测试和计量解决方桉。其复杂的功能、集成的流程控制、数据收集和报告功能使用户能够确保更高的产量、质量和流程可重复性。