二手 KLA / TENCOR P16+ #9364779 待售

KLA/TENCOR P16+是一种高度先进的晶圆测试和计量设备，用于工艺优化和缺陷检测。KLA P 16+是为收集晶圆参数和特性的综合测量而设计的。它使用负载锁定、自动晶片处理程序和集成计量功能来测量关键参数,如临界尺寸（CD）、缺陷检查和迭加对齐以及其他工艺性能指标。TENCOR P-16+结合了专有的高分辨率光学系统，能够对CD和迭加等关键参数进行精确的非接触和无损测量。这个单元允许操作员解决晶圆表面上0.5毫米或更少的CD变化，这明显超出了其他计量系统的灵敏度。此外，KLA P16+提供了一个实时的机器来进行高效的缺陷检查，并能够以高灵敏度和分辨率实时检测极小的缺陷和颗粒。TENCOR P16+还具有先进的热成像工具，在测试时提供晶圆的精确温度控制，以及用于测量迭加性能的特殊对齐算法。此资产还为关键功能提供了快速、高精度的对齐解决方桉。自动晶圆处理程序支持从8英寸到12英寸的各种晶圆尺寸，具有独特的设计，以确保精确的对准和处理。总体而言,P 16+是优化流程和确保一致质量保证的理想解决方桉。它旨在简化流程,同时提高检测灵敏度和准确性。KLA/TENCOR P 16+允许操作员快速准确地测试晶片，并监控过程稳定性。它是用于高级计量应用的高度通用和可靠的工具。