二手 KLA / TENCOR P16+ #9395529 待售

KLA/TENCOR P16+是由计量和检验解决方桉的领先提供商KLA Corporation开发的晶圆测试和计量系统。KLA P 16+设备为半导体晶圆过程监测、表征和故障分析提供了先进的2D计量和成像能力。它提供了扩展的过程覆盖范围，以确保在芯片制造过程的所有阶段的最佳产量。TENCOR P-16+系统设计用于高容量计量、成像和分析，以支持低温器件的工艺优化。它采用集成的计量平台设计,将3D扫描功能与光学、光谱和电气测量解决方桉相结合。该单元具有用于确定晶圆平面参数（如轮廓、平整度和层厚度）的高级工具套件。KLA/TENCOR P-16+机器支持在晶圆级自动测量过程行为,并为单模和多模实现提供增强的吞吐量和测量能力。其先进的优化缺陷检测（ODD）和图像识别（IR）算法有助于快速评估过程缺陷，帮助检测任何质量问题，才能造成屈服损失。TENCOR P 16+工具还设计用于整个生产过程的可靠性和可重复性。它满足了严格的生产要求，采用了临界维度（CD）测量和计量的专用算法，从而实现了快速高效的过程评估。该资产允许对任何流程问题进行跨站点监测和报告,有助于确保变异性保持在最低限度。KLA P16+模型通过先进的TENCOR FabOptimizer软件产品套件提供全面的数据分析和报告功能。FabOptimizer套件提供对流程和设备数据的实时分析,以帮助识别和解决可能出现的任何问题。它提供集成的质量仪表板,通过警报管理和参数跟踪实现快速流程优化。该设备还提供站点/功能/离散数据挖掘能力，以便进行更深入的过程分析。总体而言,P16+是一个高级度量、成像和分析系统,旨在进行可靠的晶圆测试和度量。其集成的计量平台提供了全面的流程覆盖范围、自动化的测量、增强的度量以及可靠的可重复性功能。利用先进的数据分析和报告功能,TENCOR P16+单元有助于确保晶圆制造中的产量控制和工艺优化。