二手 KLA / TENCOR P16+ #9395553 待售

ID: 9395553
晶圆大小: 6"-8"
Surface profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P16+晶圆测试和计量系统是半导体、纳米技术和MEMS行业测试和计量的综合、数字化平台。此集成平台提供了在线计量、临界尺寸(CD)测量和产量管理所需的可靠性、准确性和性能。KLA P 16+的核心部件是OptiCAD™激光位移传感器和高分辨率光学组件。为了最大限度地提高准确性和可靠性,这些组件使用了多种技术组合,例如成像处理、图像识别、配置文件拟合、掩蔽和数据融合。OptiCAD™激光传感器被设计成能够准确可靠地捕获复杂的设备地形数据。它们具有先进的信噪比性能,能够精确绘制分辨率高达1微米的设备特性。这允许在2D、3D和4D中测量尺寸。高分辨率光学组件可实现实时图像识别和层成像,从而在晶圆的整个表面实现高度精确的计量。光学组件能够以高清方式捕获图像,从而为表面扫描和成像提供最佳分辨率。TENCOR P-16+能够扫描17英寸大小的晶片,可以测量大型平板和显示器等设备。此外,P16+还具有强大的数据分析算法。这些算法可以识别模式、检测趋势、隔离缺陷,以确保产量控制和质量保证。该系统还配备了一整套软件工具,可实现高效的数据可视化和分析,从而方便地诊断和排除出现的问题。KLA/TENCOR P-16+是为提高工作效率和可靠性而设计的,可用于光刻和器件表征市场的晶圆测试和计量应用。该系统提供坚定不移的性能,内置故障保险箱和精确的实时测量,以确保最高级别的准确性、可重复性和效率。
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