二手 KLA / TENCOR P16+ #9398371 待售
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KLA/TENCOR P16+是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于生产和研究应用。它能够快速准确地测量各种参数和特性,从而实现复杂的过程控制和开发。该系统能够使用从GaAs到Silicon的各种材料,并能够进行模式和迭加测量,并在几分钟内获得统计结果。该单元拥有16英寸的视野,在4µm的高度范围内最大分辨率为2µm。机器还可以测量薄膜厚度、配置和晶圆轮廓中包含的其他参数。除了核心扫描和处理能力外,KLA P 16+还有一个集成的快背扫描仪,以提高生产力。这种扫描仪能够测量高分辨率的表面特征,从而能够进行晶圆检查和测量,而以前只能通过破坏性过程进行。TENCOR P-16+可以与各种其他系统集成,如激光和光学,用于扩展能力。在Research模式下,该工具被设计为允许在资产内测量模式和修改各种过程,大大提高了模型的灵活性。该设备采用多种自动化功能进行设计,如用于大容量吞吐量的自动驾驶仪和用于自动检查晶圆参数的自动测量仪。总体而言,P 16+是一个令人印象深刻的晶圆测试和计量系统。它为用户提供了一个精密和高性能的单元,具有一系列集成功能,可以优化过程的每一个步骤,从基板检查到开发。它是生产和研究环境中精密测量和过程控制的理想选择。
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