二手 KLA / TENCOR P17 OF #293666751 待售

KLA / TENCOR P17 OF
ID: 293666751
Surface profiler.
KLA/TENCOR P17晶片测试和计量设备是一种高端计量系统,用于检查半导体工业中使用的晶片基板。该单元结合了先进的评估和计量技术,包括全场成像、自动缺陷审查和重点离子束分析,以提供晶圆基板的详细、全面的视图。KLA P17 OF机由几个模块组成,包括一个红外光学扫描子系统、一个500万像素相机工具和一个高效、低功率的离子柱。红外光学扫描资产支持全场成像,提供整个晶圆的详细、高分辨率图像。相机模型允许自动缺陷审查,对晶圆上的过程相关缺陷提供快速、可重现的审查。离子束柱对晶片上的局部目标区域进行了无与伦比的分析,进一步评价了过程相关缺陷。除了成像和计量组件外,TENCOR P17 OF还包括一个自动晶片分级设备,提供高度可配置的晶片制备和处理过程。分期系统允许晶片的精确、可重复定位以及与成像和计量组件的自动对齐。P17 OF具有完全集成的图像捕获、处理和显示单元,为操作员提供了易于使用的图形界面。直观的用户界面为操作员提供了计量操作所有领域的全面视图。机器可以存储以前运行的数据,允许操作员快速召回和分析运行以进行分析和比较。KLA/TENCOR P17 OF旨在满足最新半导体工艺技术的需求,并提供尖端性能和测量能力。该工具非常适合掩蔽过程开发、过程控制和质量保证应用。该资产提供了无与伦比的准确性和可靠性,为最先进的技术节点中的半导体工艺工程师提供了可靠性保证。
还没有评论