二手 KLA / TENCOR P17 #293664880 待售

KLA/TENCOR P17是一种晶片测试和计量设备,用于测量现代器件制造中使用的半导体晶片的缺陷、器件性能、组成和其他特性。它可以在一次扫描中分析多种材料层，允许快速检测过程变化和缺陷。该系统包含晶圆扫描光学、自动显微镜以及广泛的光电和电磁传感器。光学元件由激光、透镜系统和其他光学元件组成,这些元件用于在每次扫描时以多种角度和深度捕获各种测量结果。自动显微镜包括一个电动的z轴级和一个高分辨率的相机，用来捕捉晶圆的高分辨率图像。KLA P-17能够从每次扫描中捕获关键信息,以识别晶片的详细特征和图样结构,提供显示局部变化的详细图像,并提供高分辨率分析临界厚度和组成变化的选项。通过将面积和点测量相结合，它提供了晶圆上发生的情况的概述。TENCOR P 17的高级算法可以在过程的早期发现问题，为工程师提供快速纠正行动的机会。该单元可检测和测量各种类型的缺陷和降解，如氧化物积聚、污染或腐蚀，也可用于测量导线完整性的指标。此外,TENCOR P-17可以收集晶片所有材料层的数据,提供有关缺陷和工艺变化的完整信息,以便进行全面分析。该机器还包括一个集成数据库，可以对大量检查数据进行高效存储和分析。为确保准确性和可靠性，KLA P 17可借助内置的NIST可追溯校准标准进行反复校准。该工具是一种完全自动化的资产,可集成到广泛的生产过程中,从而减少测试时间和成本,并提供高度准确、可重复的结果。总之，TENCOR P17是一种先进的晶片测试和计量模型，能够检测硅片上各种类型的缺陷或降解。其先进的传感器和光学系统为工程师提供了快速纠正措施和提高效率的全面信息。设备可以集成到生产过程中，减少测试时间和成本，并提供可靠的结果。