二手 KLA / TENCOR P17 #293824839 待售

KLA/TENCOR P17是一种功能强大的自主晶片测试和计量设备，专门为晶片结构的自动化计量设计。该系统由两个核心组成：主要计量单元和样品包装和控制单元。KLA P-17为300 mm、200 mm和150 mm晶圆提供自动化的高精度计量。主要的计量单元是一个精密扫描级，允许晶片精确对齐，然后使用高光谱成像技术进行拍摄。扫描级由高速、低噪声的线性伺服电动机定位和操作，可配置为扫描特定范围的晶圆，以及调整其速度以获得最佳性能。该扫描机采用先进的CCD/CMOS传感器和减振扫描台，以确保高分辨率的分析具有可重复的精度。TENCOR P 17还包括用于样品制备和控制的高级样品包装和控制工具（SPCS）。SPCS结合了几个组件,允许快速加载和卸载多个晶片、样本映射和对齐,以及存储和检索晶片度量。SPCS可以安全地包装多个晶片，然后将其密封并运送到计量单元。此外，SPCS包括一个专门的温度控制，允许温度相关的晶圆测量。KLA P17资产利用高级软件进行图像采集、分析和晶圆结果报告。此软件提供高精度测量,并提供一系列用于数据分析的工具和视图。此外,KLA/TENCOR P-17允许用户轻松定义自定义分析套件和报告格式,从而能够更快地进行故障排除和更高效地进行晶圆分析。为了确保质量和准确的结果,P17模型包括多个冗余级别和可靠的数据管理设备。该系统可确保整体设备正常运行时间最大化,并确保晶圆测试结果在发生机器故障时得到安全存储和备份。总体而言,P 17工具为晶圆处理提供自动化、灵活和准确的计量。它结合了先进的计量技术、样本封装和控制、可定制的分析工具以及强大的数据管理功能,使TENCOR P-17任何晶圆处理设施的重要工具。