二手 KLA / TENCOR P2 #293595754 待售

KLA/TENCOR P2是一种用于分析半导体晶片的晶圆测试和计量设备。它是一个高度集成的测量和评估半导体晶片地形和电气特性的系统。KLA P-2包括一个高速图像传感器来捕捉晶片的地形特征，一个强大的图像处理器来分析捕获的数据，以及其他几个传感器来测量晶片的物理性质，比如它的电阻率。TENCOR P2中包含的图像传感器是一种先进的电荷耦合器件（CCD）阵列,能够捕获大面积的晶圆表面。大格式允许在晶圆上收集更多的数据点,并确保更快速地收集数据点。图像处理器能够快速准确地分析捕获的图像数据，识别缺陷，并创建晶圆表面的详细地形图。处理器还提供计量功能，计算晶圆的电压、电阻率和厚度等各种性能参数。除了图像传感器和处理器之外，P-2还包括一个专门的传感器阵列，用于测量晶圆的各种电气和物理特性。其中包括KLA VFET传感器、先进的电气性能测试仪、周界保护扫描仪、接触电阻图扫描仪和探针单元、用于测量电阻率、平整度、表面均匀度等特性的探针阵列。KLA P2还包括用于晶圆目视检查的视觉机器。P2高度自动化,能够在单个会话中执行各种任务。它可以测量电压、电流、电阻、电容、电感等电气性能特性。该工具还能够测量和分析晶片的轮廓、厚度和表面质量，以及其平整度和表面均匀性。KLA/TENCOR P-2提供了广泛的特性和功能,使其成为分析和评估半导体晶片的宝贵工具。其高度自动化的性质允许快速测量和评估晶片的电气和物理特性。P 2收集的数据随后可用于做出战略决策，并创建将改善半导体制造的工艺变更。