二手 KLA / TENCOR P2 #293676473 待售
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KLA/TENCOR P2是一种模块化晶圆测试和计量设备,专为半导体制造业而建。该系统旨在利用最新的激光传感和检测技术,对硅晶片上的各种参数进行精确和可重复的测量。该单元有能力以非接触方式对单个晶片进行多次测量,同时保持晶片的完整性。该机有两个主要部件-探头和计量模块。探头由多个传感器、CCD摄像机和激光源组成,结合专有算法检测和测量晶圆的各种特征,如厚度、平坦度、大小、形状、反射率和电性能。测量的分辨率高达1纳米,包括表面轮廓和翘曲的测量、晶圆的边到边均匀性以及任何表面缺陷或污染。计量模块负责处理和管理探头收集的数据,并以多种格式输出。该模块配备了高级分析功能,如分层过滤、统计分析和多元分析。它还能够容纳多个用户并允许他们实时访问数据并与之交互。KLA P-2工具设计用于广泛的研究和工业应用,如表面计量、地形剖析、图像辅助计量和晶圆检验。它是一个通用、经济高效、可靠的平台,用于验证和表征高精度晶片,以及用于测试和生产优质晶片。因此,它是半导体制造过程中不可或缺的组成部分。
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