二手 KLA / TENCOR P2 #293800218 待售

KLA/TENCOR P2是针对最苛刻的晶圆制造应用而优化的晶圆测试和计量设备。它提供了一系列全面的检查和测量功能,具有高分辨率图像、快速扫描速度和小尺寸。KLA P-2使非接触式计量测量能够量化非均匀变薄的晶片和薄膜，同时还提供激光干涉测量和微米级坐标测量机（CMM）能力。该系统使用扫描电子显微镜（SEM）成像来更好地访问地形和检测缺陷。TENCOR P2采用先进的软硬件技术设计，以优化吞吐量和性能。该单元的光学元件是可调的，以适应一系列晶圆尺寸和尺寸。扫描电子束（Scanning Electron Beam, SEB）的设计目的是获得最高分辨率的图像和测量值。光谱仪是一种用于获取光谱和进行3D测量的自动化机器，它采用多种模态感测技术进行快速准确的表征。TENCOR P2的高端控制软件包括集群工具自动化、自动样本识别、集成全厂工具等功能。先进的软件还提供了自动对齐和失真校正，使样本偏心率的影响最小化。这个复杂的软件使从同一样本上的多个站点获取测量数据的过程自动化。TENCOR P-2能够使用软件的多波长幅度调制（MAM）技术同时测量薄层、晶圆和薄膜。这种技术可以通过提供准确、可重复的结果来减少测量不确定性。为了便于查看和数据传输,该工具还集成了高清电视摄像机和对DataBridge软件的支持。DataBridge允许串联数据传输和分析,从而提高分析的准确性和速度。这样可以更快地做出决策和完成项目。P-2是一种先进的晶圆测试和计量解决方桉,经过优化,可实现快速、准确和可重复的性能。凭借其尖端的硬件、软件和传感器,它为各种晶圆制造应用程序的检查和测量提供了速度和准确性的最佳组合。