二手 KLA / TENCOR P2 #9007474 待售
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ID: 9007474
Automated long scan profilometer
Optic: 150-600X HI
Stylus force:
0: 226
10: 339
40: 557
100: 840
300µ Range: 0.9975
Scan length: 0.0000000
Backlash: 0
Drop timer: 27
Linearity:
A: 975
B: -350
Options:
Sequence / Data base manager option
Motorized level and rotation option
Measure micro-roughness with:
1 Å resolution over short distances scan: 210 mm (8.2")
PC / AT Computing power automatic measurement capability
Data storage
Data analysis
Includes:
Magnetic disks
Semiconductor wafers
Precision-machined and polished surfaces
Ceramics for micro-electronics
Glass for flat panel displays
Optical surfaces
Measurement of vertical ranging under 100 Å: 0.4 µin to ~0.3 mm (11 Mils)
With vertical resolution 1 / 25 Å: 0.004 / 0.1 µin
Measurements either metric / English
Independently for horizontal and vertical parameters
Does not include key lock
Power supply: 115 V, 4 A, 60 Hz, Single phase.
KLA/TENCOR P2是一种晶圆测试和计量设备，设计用于各种半导体工艺和缺陷检测应用。该系统以最佳的精度提供全面的故障分析解决方桉。它能够以高分辨率和精确度扫描整个晶片表面。该单元由一种专有的KLA光谱图像处理技术提供动力，使其能够检测和表征过程和产品相关缺陷。机器的处理能力使它能够在几分钟内扫描整个晶片表面。它包含专有算法,旨在提高图像处理和缺陷表征的准确性和速度。该工具还具有先进的集成软件,具有缺陷人工制品特征、缺陷优先排序、统计故障分析和缺陷趋势识别功能。该资产具有内置工具,用于管理和分析每小时多达200 k的产品缺陷,且假阳性和假阴性率较低。该模型还旨在使用户能够轻松地在检查模式之间进行切换，从而使他们能够优化其对不同流程和应用程序的使用。该设备还包括获得TENCOR专利的KORE™技术，它提供高分辨率光谱图像的成像。它捕获整个表面的图像,并提供光学参数的详细分析,如临界尺寸（CD）和线缘粗糙度（LER, Line Edge Roughness）。该系统还包括一个功能强大的光学计量学软件包，使操作员具有前所未有的能力，能够准确地表征粒子、位错、丘陵和其他光学线路和表面拓扑特征等小缺陷。该单元还提供了一整套自动缺陷分类和缺陷大小分析工具，用于高效和一致的缺陷表征。此外，该机器设计方便地集成到现有的计量系统中，使用户能够从各种来源获取数据。KLA P-2是用于缺陷检测和晶圆测试应用的功能非常强大的工具。它能够提供高精度、精确的缺陷参数测量，使其比传统的晶圆测试方法更具优势。凭借其全面的能力和创新的技术，该工具是任何半导体铸造厂或生产环境的必备工具。
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