二手 KLA / TENCOR P2 #9100966 待售

KLA / TENCOR P2
ID: 9100966
Surface profiler.
KLA/TENCOR P2是一种晶圆测试和计量设备,用于评估晶圆在半导体生产过程中的电性能。该系统由样本持有者、测试头、照明子系统、计量子系统、软件接口以及数据采集和分析模块组成。样品支架将晶片连接到设备上,并在测试过程中将其固定到位。测试头是发生电气测试过程的地方。测试头包含一个集成电源、数字信号处理器和一组晶圆探头。电源使探针能够向晶片传递预定的电信号。数字信号处理器用于根据测试过程中收集的数据修改信号。照明子系统提供了成像过程所需的照明。它由提供晶圆均匀照明的光源和透镜组成。计量子系统包括捕获晶圆图像的成像设备。可以配置为提供晶圆表面的放大图像或实时图像,还可以测量电阻、电容、击穿电压等电性能。软件界面允许用户控制单位参数,并存储收集到的数据进行后处理。用于配置机器的测控参数,启动测试序列,管理数据采集和分析。数据采集和分析模块用于处理从晶圆测试过程中收集的原始数据,并生成对结果进行详细分析的报告。最后,科军P-2包括一套诊断工具,以确保所有结果准确可靠。其中包括缺陷和异常检测工具、测试质量保证资产以及用于优化生产过程的产量分析模型。总体而言,TENCOR P2为晶圆测试和计量提供了一个全面的解决方桉。它提供卓越的性能、准确性和可靠性,以确保高效可靠的生产过程控制。
还没有评论