二手 KLA / TENCOR P2 #9183261 待售

KLA/TENCOR P2是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量、识别和跟踪用于制造集成电路的半导体晶圆的物理特性。该系统结合了先进的光学、电源和X射线技术，提供亚微米探测和计量能力。KLA P-2单元由光学晶片检测模、功率计量站、X射线衍射站和成像站组成。光学机器使用激光和光场检测技术来测量晶片的特性。这项技术能够检测微小的缺陷，如坑、裂缝、粒子和几何差异。它还能够识别晶圆中非常小的特征，如线宽和线空尺寸变化。功率计量站使用自动测试和接触扫描来测量设备中的功耗。这对于确保设备按照设计运行和芯片不会过热非常重要。X射线衍射站分析晶片的材料特性，以测量晶格和各晶片内应变的变化。成像站有效捕获晶圆的自上而下的表面图像，并使用图像来测量不同的参数，如对比度、清晰度、焦点、分辨率等。这些图像用于准确识别缺陷并确保设备符合规格。TENCOR P2工具还使用数据分析套件来存储、组织、比较各晶圆的检测结果。KLA P2资产为半导体晶圆提供了一套完整的计量和缺陷检测能力。它帮助制造商深入了解其晶片和产品的质量,并帮助确保晶片和芯片符合其期望的规格。