二手 KLA / TENCOR P2 #9205754 待售
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KLA/TENCOR P2是一种晶圆测试和计量设备,用于检查和分析晶圆地形。该系统提供了自动化优化和故障分析的组合,以实现快速而清晰的结果。它是当今可用的最先进的晶圆计量单元,利用独特的成像和模式识别技术获取精确的3维测量数据。KLA P-2成像机使用了先进的成像技术,如紫外线微通道板、电子束柱、电子光学柱。对所得图像进行了分析,与参考结构进行了比较,并与之相关联,为自动缺陷检测开发了详细的晶圆地形。该工具还包括一个自动晶片检查过程,它允许晶片被快速准确地检查。该资产配备了温度和湿度范围可调的气象室,以精确测量来自晶圆表面的反馈。TENCOR P2计量模型具有一套数据分析、统计过程控制(SPC)和数据可视化的高级软件工具。SPC软件可以检测晶圆表面地形的变化和测试结果的不规则性等趋势。数据可视化软件概述了测试期间收集的数据,使分析人员能够轻松创建直观且内容丰富的图表。KLA P2设备还具有高速、低能超声信号发生器,用于高分辨率分析数据。这样可以对晶片表面的缺陷进行精确的分析和测量。系统还配备了激光干涉仪,可以测量晶圆表面的平坦度,以及晶圆地形中的任何缺陷。P2平台的整体体系结构是为自动化、灵活性和可扩展性而设计的。它是一个健壮的计量单元,可以处理多个测试、多个晶圆和多个工艺条件。而且,由于该机器完全可定制,因此可以根据特定的客户需求进行定制。KLA/TENCOR P-2的所有功能结合在一起,提供了可靠而全面的晶圆测试和计量工具,可以为任何应用提供准确的结果。它具有创新的设计和先进的技术,是晶圆分析和故障分析的宝贵工具。
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